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浙江艾微普科技有限公司、 物理氣相沉積/磁控濺射（PVD）、 離子束刻蝕機（IBE）、 反應離子刻蝕機（RIE）等系列MEMS、 半導體、 新能源器件制造專用設備、 硬盤、 MEMS、

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艾微普公司由美國硅谷企業家團隊與國內著名上市企業天通公司(TDG)合作，在浙江海寧創立。公司聚集了多位海內外資深微納加工及半導體設備、工藝、材料專家，專注打造世界先進水平的高端微納器件、半導體、及新能源加工設備。

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浙 江 艾 微 普 科 技 有 限 公 司 選 擇 語 言 中 文 版 E n g l i s h 首 頁 公 司 概 況 公 司 簡 介 愿 景 使 命 社 會 責 任 產 品 技 術 薄 膜 沉 積 薄 膜 刻 蝕 其 他 設 備 支 持 與 服 務 新 聞 中 心 企 業 動 態 行 業 動 態 聯 系 我 們 首 頁 公 司 概 況 公 司 簡 介 愿 景 使 命 社 會 責 任 產 品 技 術 薄 膜 沉 積 薄 膜 刻 蝕 其 他 設 備 支 持 與 服 務 新 聞 中 心 企 業 動 態 行 業 動 態 聯 系 我 們 中 文 版 S e a r c h 為 客 戶 提 供 全 面 的 設 備 和 工 藝 解 決 方 案 ? 薄 膜 沉 積 ? 薄 膜 刻 蝕 ? 定 制 設 備 瀏 覽 更 多 → 為 客 戶 提 供 全 面 的 設 備 和 工 藝 解 決 方 案 ? 薄 膜 沉 積 ? 薄 膜 刻 蝕 ? 定 制 設 備 瀏 覽 更 多 → 為 客 戶 提 供 全 面 的 設 備 和 工 藝 解 決 方 案 ? 薄 膜 沉 積 ? 薄 膜 刻 蝕 ? 定 制 設 備 瀏 覽 更 多 → 產 品 中 心 為 客 戶 提 供 全 面 的 設 備 和 工 藝 解 決 方 案 A V P I B E S y s t e m 歐 美 工 業 生 產 證 明 的 、 可 靠 、 低 成 本 、 高 產 能 的 薄 膜 刻 蝕 系 統 廣 泛 應 用 的 微 、 納 器 件 加 工 、 刻 蝕 設 備 杰 出 的 薄 膜 刻 蝕 均 勻 性 和 重 復 性 純 物 理 刻 蝕 ， 采 用 惰 性 氣 體 為 工 藝 氣 體 ， 環 保 、 無 污 染 ， 應 用 廣 泛 低 維 護 、 低 成 本 、 低 C o O 歐 美 工 業 生 產 證 明 的 、 可 靠 、 低 成 本 、 高 產 能 的 薄 膜 刻 蝕 系 統 廣 泛 應 用 的 微 、 納 器 件 加 工 、 刻 蝕 設 備 杰 瀏 覽 更 多 A V P H R P V D S y s t e m 高 濃 度 離 子 輔 助 的 傾 角 濺 射 （ D i r e c t i o n a l S p u t t e r i n g ） 高 速 率 反 應 濺 射 ， 如 A l 2 O 3 的 沉 積 速 率 > 1 n m / s 優 異 的 薄 膜 厚 度 均 勻 性 （ 1 σ 基 片 背 面 氦 氣 冷 卻 ， 基 片 溫 度 （ 高 靶 材 使 用 率 （ > 8 0 % ） 高 濃 度 離 子 輔 助 的 傾 角 濺 射 （ D i r e c t i o n a l S p u t t e r i n g ） 高 速 率 反 應 濺 射 ， 如 A l 2 O 3 的 沉 瀏 覽 更 多 支 持 與 服 務 為 客 戶 提 供 全 面 的 設 備 和 工 藝 解 決 方 案 專 家 支 持 專 家 支 持 服 務 ， 提 供 7 / 2 4 現 場 及 遠 程 設 備 及 工 藝 診 斷 和 改 進 。 先 進 的 工 業 控 制 系 統 提 供 國 際 工 業 生 產 驗 證 的 ， 長 期 穩 定 的 全 自 動 設 備 控 制 系 統 。 定 制 和 升 級 系 統 提 供 定 制 設 備 化 制 造 和 設 備 改 造 升 級 。 客 戶 至 上 的 原 則 全 心 全 意 為 客 戶 服 務 ， 為 客 戶 成 功 助 力 。 關 于 艾 微 普 為 客 戶 提 供 全 面 的 設 備 和 工 藝 解 決 方 案 專 注 打 造 世 界 先 進 水 平 的 高 端 微 納 器 件 、 半 導 體 、 及 新 能 源 加 工 設 備 公 司 由 美 國 硅 谷 企 業 家 團 隊 與 國 內 著 名 上 市 企 業 天 通 公 司 ( T D G ) 合 作 ， 在 浙 江 海 寧 創 立 。 公 司 聚 集 了 多 位 海 內 外 資 深 微 納 加 工 及 半 導 體 設 備 、 工 藝 、 材 料 專 家 ， 專 注 打 造 世 界 先 進 水 平 的 高 端 微 納 器 件 、 半 導 體 、 及 新 能 源 加 工 設 備 。 公 司 的 核 心 技 術 和 產 品 包 括 物 理 氣 相 沉 積 / 磁 控 濺 射 （ P V D ） 、 離 子 束 刻 蝕 機 （ I B E ） 、 反 應 離 子 刻 蝕 機 （ R I E ） 等 系 列 M E M S 、 半 導 體 、 新 能 源 器 件 制 造 專 用 設 備 。 公 司 自 創 立 以 來 ， 已 經 獲 得 幾 十 項 國 家 專 利 。 瀏 覽 更 多 新 聞 資 訊 為 客 戶 提 供 全 面 的 服 務 和 軟 件 解 決 方 案 2 0 2 0 0 9 2 9 艾 微 普 設 備 亮 相 中 國 （ 上 海 ） 國 際 傳 感 器 技 術 與 應 用 展 覽 會 2 0 2 0 0 3 0 5 半 導 體 設 備 行 業 深 度 報 告 ： 國 產 突 破 正 加 速 ， 迎 來 中 長 期 投 資 機 會 2 0 2 0 1 1 0 4 艾 微 普 P V D , I B E 等 半 導 體 設 備 備 受 矚 目 C H I N A N O 博 覽 會 2 0 2 0 0 6 2 0 浙 江 艾 微 普 科 技 有 限 公 司 參 展 2 0 2 0 S E M I C O N C H I N A 公 司 總 部 中 國 浙 江 省 嘉 興 市 海 寧 市 海 昌 街 道 芯 中 路 6 號 1 6 幢 快 速 導 航 關 于 我 們 產 品 技 術 支 持 與 服 務 聯 系 我 們 產 品 技 術 薄 膜 沉 積 薄 膜 刻 蝕 其 他 設 備 手 機 網 站 支 持 與 服 務 下 載 聯 系 我 們 詢 問 艾 微 普 0 5 7 3 8 7 0 2 3 9 9 5 版 權 所 有 ? 2 0 2 3 浙 江 艾 微 普 科 技 有 限 公 司 ? ? ? ? 備 案 號 : 浙 I C P 備 2 0 0 0 4 1 4 7 號 ? ? ? ? 技 術 支 持 ： 浙 江 炎 黃 在 線

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