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半導體工藝設備、 晶體設備、

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山東力冠微電子裝備有限公司-半導體裝備制造主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售與專業化的技術服務。

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山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 半 導 體 裝 備 制 造 l i g u a n @ l i g u a n c h i n a . c o m 0 5 3 1 8 7 9 0 5 2 9 8 中 文 ? | ? E n g l i s h 網 站 首 頁 關 于 我 們 公 司 簡 介 企 業 文 化 產 品 展 示 半 導 體 芯 片 設 備 晶 體 生 長 設 備 新 聞 資 訊 公 司 新 聞 行 業 資 訊 招 賢 納 士 管 理 理 念 加 入 力 冠 聯 系 我 們 E n g l i s h Q u o t e N o w 產 品 展 示 主 要 從 事 半 導 體 專 用 設 備 的 研 發 、 生 產 、 銷 售 與 專 業 化 的 技 術 服 務 。 了 解 詳 情 A L D 設 備 ? 適 用 領 域 ： 集 成 電 路 、 先 進 封 裝 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : I n t e g r a t e d C i r c u i t s , A d v a n c e d P a c k a g i n g ? 適 用 材 料 ： S i S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : S i l i c o n ( S i ) ? 晶 圓 尺 寸 ： 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h ? 適 用 工 藝 ： 氮 化 硅 ( S i N ) 、 二 氧 化 硅 ( S i O 2 ) 等 膜 層 的 沉 積 S i l i c o n N i t r i d e ( S i N ) 、 S i l i c o n D i o x i d e （ S i O 2 ） , a n d o t h e r f i l m l a y e r s 氧 化 / 擴 散 / 退 火 爐 ? 適 用 領 域 ： 集 成 電 路 、 先 進 封 裝 、 化 合 物 半 導 體 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : I n t e g r a t e d C i r c u i t s , A d v a n c e d P a c k a g i n g , C o m p o u n d S e m i c o n d u c t o r s ? 適 用 材 料 : ? S i 、 S i C 、 G a N S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : S i l i c o n ( S i ) , S i l i c o n C a r b i d e ( S i C ) , G a l l i u m N i t r i d e ( G a N ) ? 晶 圓 尺 寸 ： 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h ? 適 用 工 藝 ： 氧 化 ( O x i d a t i o n ) 、 退 火 ( A n n e a l i n g ) 、 固 化 ( P o l y i m i d e ) 、 合 金 ( A l l o y ) 、 擴 散 ( D i f f u s i o n ) A p p l i c a b l e P r o c e s s e s : O x i d a t i o n , A n n e a l i n g , P o l y i m i d e C u r i n g , A l l o y , D i f f u s i o n L P C V D 設 備 適 用 領 域 ： 集 成 電 路 、 先 進 封 裝 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : I n t e g r a t e d C i r c u i t s , A d v a n c e d P a c k a g i n g 適 用 材 料 : ? S i S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : S i l i c o n ( S i ) 晶 圓 尺 寸 ： 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h 適 用 工 藝 ： 氮 化 硅 ( S i N ) 、 多 晶 硅 ( P o l y S i / U P o l y / D P o l y ) 、 二 氧 化 硅 ( T E O S ) 等 A p p l i c a b l e P r o c e s s e s : S i l i c o n N i t r i d e ( S i N ) D e p o s i t i o n , P o l y s i l i c o n ( P o l y S i / U P o l y / D P o l y ) D e p o s i t i o n , S i l i c o n D i o x i d e ( T E O S ) D e p o s i t i o n e t c . L P C V D 設 備 ? 適 用 領 域 ： 集 成 電 路 、 先 進 封 裝 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : I n t e g r a t e d C i r c u i t s , A d v a n c e d P a c k a g i n g ? 適 用 材 料 ： S i S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : S i l i c o n ( S i ) ? 晶 圓 尺 寸 ： 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h ? 適 用 工 藝 ： 氮 化 硅 ( S i N ) 、 多 晶 硅 ( P o l y S i / U P o l y / D P o l y ) 、 二 氧 化 硅 ( T E O S ) 、 H T O 等 A p p l i c a b l e P r o c e s s e s : S i l i c o n N i t r i d e ( S i N ) D e p o s i t i o n , P o l y s i l i c o n ( P o l y S i / U P o l y / D P o l y ) D e p o s i t i o n , S i l i c o n D i o x i d e ( T E O S ) D e p o s i t i o n , H T O , e t c . 氧 化 / 擴 散 / 退 火 爐 ? 適 用 領 域 ： ? 集 成 電 路 、 先 進 封 裝 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : I n t e g r a t e d C i r c u i t s , A d v a n c e d P a c k a g i n g ? 適 用 材 料 : ? S i S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : S i l i c o n ( S i ) ? 晶 圓 尺 寸 : ? 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h ? 適 用 工 藝 : ? 氧 化 ( O x i d a t i o n ) 、 退 火 ( A n n e a l i n g ) 、 固 化 ( P o l y i m i d e ) 、 合 金 ( A l l o y ) 、 擴 散 ( D i f f u s i o n ) A p p l i c a b l e P r o c e s s e s : ? O x i d a t i o n , A n n e a l i n g , P o l y i m i d e C u r i n g , A l l o y , D i f f u s i o n H V P E 法 單 晶 生 長 設 備 — 臥 式 適 用 領 域 ： 單 晶 生 長 、 外 延 生 長 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : S i n g l e C r y s t a l G r o w t h , E p i t a x i a l G r o w t h 適 用 材 料 : ? G a N （ 單 晶 ） 、 A I N （ 單 晶 / 外 延 ） 、 G a 2 O 3 （ 外 延 ） S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : G a N ( s i n g l e c r y s t a l ) , A l N ( s i n g l e c r y s t a l / e p i t a x i a l ) G a 2 O 3 ( e p i t a x i a l ) 晶 圓 尺 寸 : ? 8 / 6 英 寸 W a f e r S i z e : 8 / 6 ? i n c h H V P E 法 單 晶 生 長 設 備 — 立 式 適 用 領 域 ： 單 晶 生 長 、 外 延 生 長 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : S i n g l e C r y s t a l G r o w t h , E p i t a x i a l G r o w t h 適 用 材 料 : ? G a N （ 單 晶 ） 、 A I N （ 單 晶 / 外 延 ） 、 G a 2 O 3 （ 外 延 ） S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : G a N ( s i n g l e c r y s t a l ) , A l N ( s i n g l e c r y s t a l / e p i t a x i a l ) G a 2 O 3 ( e p i t a x i a l ) 晶 圓 尺 寸 : 8 / 6 英 寸 W a f e r S i z e : 8 / 6 i n c h P V T 法 長 晶 爐 — — 電 阻 爐 適 用 領 域 ： 單 晶 生 長 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : ? S i n g l e C r y s t a l G r o w t h 適 用 材 料 : ? S i C 、 A I N S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : ? S i C ( S i l i c o n C a r b i d e ) , A l N ( A l u m i n u m N i t r i d e ) 晶 圓 尺 寸 : ? 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h P V T 法 長 晶 爐 — — 感 應 爐 適 用 領 域 ： 單 晶 生 長 R e l e v a n t I n d u s t r i e s : ? S i n g l e C r y s t a l G r o w t h 適 用 材 料 : ? S i 、 A I N S u i t a b l e f o r P r o c e s s i n g : ? S i C ( S i l i c o n C a r b i d e ) , A l N ( A l u m i n u m N i t r i d e ) 晶 圓 尺 寸 : ? 1 2 / 8 英 寸 W a f e r S i z e : 1 2 / 8 i n c h 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 聚 力 成 事 · 名 冠 天 下 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 （ 簡 稱 ： 山 東 力 冠 ） 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 是 一 家 集 研 發 、 生 產 、 銷 售 于 一 體 的 先 進 半 導 體 裝 備 制 造 與 工 藝 技 術 服 務 商 ， 業 務 覆 蓋 國 內 外 市 場 。 公 司 產 品 涵 蓋 半 導 體 芯 片 設 備 及 晶 體 生 長 設 備 兩 大 類 ， 均 擁 有 自 主 知 識 產 權 ， 完 全 自 主 可 控 ， 產 品 廣 泛 應 用 于 集 成 電 路 、 功 率 半 導 體 、 化 合 物 半 導 體 、 5 G 芯 片 、 光 通 信 、 M E M S 等 新 型 電 子 器 件 制 造 領 域 。 我 們 以 持 續 的 工 藝 論 證 為 驅 動 ， 不 斷 推 進 設 備 技 術 迭 代 升 級 ， 并 通 過 “ 設 備 制 造 ” 與 “ 工 藝 驗 證 ” 的 深 度 融 合 ， 為 客 戶 提 供 設 備 解 決 方 案 。 不 忘 初 心 ， 砥 礪 前 行 。 山 東 力 冠 始 終 堅 信 “ 科 技 創 新 是 第 一 生 產 力 ” 的 科 學 理 念 ， 堅 持 創 新 驅 動 與 引 領 ， 持 續 深 耕 半 導 體 行 業 。 我 們 致 力 于 推 動 半 導 體 材 料 制 造 與 裝 備 技 術 的 發 展 ， 通 過 持 續 創 新 與 投 入 ， 不 斷 突 破 技 術 瓶 頸 ， 提 升 產 品 性 能 與 質 量 ， 以 滿 足 市 場 需 求 ， 實 現 國 產 化 替 代 ， 助 推 中 國 半 導 體 行 業 高 質 量 發 展 ， 為 中 國 半 導 體 事 業 的 進 步 貢 獻 自 身 力 量 。 企 業 視 頻 服 務 客 戶 了 解 詳 情 我 們 的 優 勢 主 要 從 事 半 導 體 專 用 設 備 的 研 發 、 生 產 、 銷 售 與 專 業 化 的 技 術 服 務 。 經 驗 豐 富 山 東 力 冠 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 是 一 家 集 研 發 、 生 產 、 銷 售 為 一 體 的 先 進 半 導 體 裝 備 制 造 與 工 藝 技 術 服 務 商 ， 業 務 覆 蓋 國 內 外 市 場 品 質 保 障 專 業 的 設 計 團 隊 與 嚴 格 評 審 、 原 材 料 及 零 部 件 采 購 質 量 控 制 、 制 造 加 工 階 段 的 規 范 與 檢 驗 實 力 雄 厚 目 前 公 司 擁 有 大 型 加 工 中 心 、 激 光 切 割 機 、 自 動 焊 機 、 V C R 焊 機 、 大 型 車 床 、 銑 床 、 鉆 床 、 剪 板 機 、 爐 絲 卷 繞 機 、 打 標 機 等 設 備 服 務 與 支 持 客 戶 現 場 配 置 客 服 人 員 、 幫 助 客 戶 全 方 面 降 低 運 行 成 本 ， 2 4 h 響 應 新 聞 資 訊 為 客 戶 提 供 優 質 的 產 品 和 完 善 的 服 務 ， 向 著 國 際 化 ， 現 代 化 企 業 昂 首 闊 步 前 進 。 了 解 詳 情 2 0 2 6 / 0 3 / 1 0 展 會 邀 請 | 山 東 力 冠 邀 您 相 聚 S E M I C O N C H I N A 2 0 2 6 2 0 2 6 / 0 3 / 1 0 力 冠 突 破 ｜ 山 東 力 冠 1 2 英 寸 爐 管 設 備 賦 能 半 導 體 產 業 升 級 2 0 2 5 / 0 5 / 1 4 國 產 半 導 體 裝 備 迎 重 大 進 展 ！ 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 推 出 1 2 英 寸 液 相 法 S i C 長 晶 爐 2 0 2 5 1 0 1 7 山 東 力 冠 | 亮 相 “ 2 0 2 5 灣 芯 展 ” 榮 獲 技 術 創 新 獎 ? 設 備 創 新 企 業 2 0 2 5 0 7 3 1 國 產 化 進 程 再 加 速 ！ 山 東 力 冠 自 主 研 發 1 2 英 寸 立 式 爐 新 品 正 式 發 布 2 0 2 4 1 2 1 1 力 冠 動 態 | 力 冠 亮 相 第 八 屆 國 際 碳 材 料 大 會 在 線 留 言 提 交 產 品 展 示 立 式 爐 管 設 備 臥 式 爐 管 設 備 P V T 法 單 晶 生 長 設 備 H V P E 單 晶 生 長 設 備 ? 聯 系 我 們 地 址 ： 濟 南 市 槐 蔭 區 濟 南 寬 禁 帶 半 導 體 產 業 園 電 話 ： 0 5 3 1 8 7 9 0 5 2 9 8 郵 箱 ： l i g u a n @ l i g u a n c h i n a . c o m C o p y r i g h t ? 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 網 站 建 設 ： 中 企 動 力 濟 南 二 分 ? ? | ? ? 標 簽 ? | ? ? 營 業 執 照 ? | ? 城 市 分 站

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